PVD 设备系列

比威度斯的 PVD Equipment Series 是一套高精度 PVD 光学多层膜真空镀膜设备。

该设备可广泛应用于薄膜沉积、光学镜片生产、滤光片生产、光学窗口生产、半导体制造、新材料研发、材料合成、材料隔离、离子清洗、离子辅助沉积、真空电子束焊接等多种研究、开发及实验领域。

为了提高生产效率和产品品质，该系列设备采用最新技术进行设计，并兼顾设备的稳定性、精密性与工艺扩展性。

系统主要由真空腔体、真空泵、冷却装置、电气控制系统、气动控制系统、真空压力控制系统、镀膜厚度控制系统、气体流量控制系统、

电子束电源系统以及离子束电源系统组成。