
E-Beam Source 产品
电子枪 & 电子枪电源
※ E-Beam Source(电子束蒸发源) 是指由 E-Gun(电子枪)、E-Gun Power Supply(电子枪电源)、
Crucible(坩埚)以及 Crucible Liner(坩埚内衬) 组成的整套系统。




ISA-7000
(韩国首创)
Electron Gun Power Supply(电子枪电源)
用途: 普通镀膜、精密镀膜
型号: ISA-7000
功率: 10 ~ 20 kW
加速电压: 3,000 ~ 15,000 VDC
电子束偏转角度: 0°、90°、180°、270°
ISA-7000 是一款高性能、高电压输出的 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)。
该产品可为 Electron Gun(电子枪)稳定地提供强劲电力,从而确保镀膜过程的稳定性,并有助于获得高品质的镀膜产品。
ISA-7000 由 主机、操作控制器(Operating Controller)以及扩展控制台(Extension Console) 组成。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 Electron Gun(电子枪)为单独销售产品,可与 ISA-7000 配套使用。
建议优先搭配使用 比威度斯(BIVIDUS)电子枪,以获得最佳的性能、稳定性与兼容性。
如将 ISA-7000 与其他品牌的 Electron Gun(电子枪)搭配使用,比威度斯(BIVIDUS)将无法保证其整体系统性能及运行稳定性。

AN-9000
(韩国首创)
Electron Gun 180°(180°电子枪)
用途: 镀膜、前面板玻璃生产、手机零部件生产、光学镜片生产
型号: AN-9000
功率: 10 kW
电子束偏转角度: 180°
AN-9000 是一款 180° Electron Gun(180°电子枪),可提供高度稳定的电子束和高功率输出,
能够有效熔化 Powder(粉末)及各种蒸发材料。
凭借稳定的束流性能与良好的输出能力,AN-9000 可广泛应用于 实验设备、真空镀膜设备、半导体设备及光学设备 等多个领域。
AN-9000 采用 单电子枪结构。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 ISA-7000 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)为单独销售产品,可与 AN-9000 配套使用。

AN-9010
(韩国首创)
Electron Gun 180°(180°电子枪)
用途: 50层以上精密镀膜、光学应用、滤光片生产、光学镜片生产
型号: AN-9010
功率: 10 kW
电子束偏转角度: 180°
AN-9010 是在 AN-9000 基础上改良升级的 180° Electron Gun(180°电子枪),整体性能较 AN-9000 进一步提升。
AN-9010 可提供更加稳定的电子束和高功率输出,能够高效熔化 Powder(粉末)及各种蒸发材料。
凭借优异的束流稳定性与输出性能,AN-9010 可广泛应用于 实验设备、真空镀膜设备、半导体设备及光学设备等多个领域。
AN-9010 采用 单电子枪结构。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 ISA-7000 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)为单独销售产品,可与 AN-9010 配套使用。

AN-9020
(韩国首创)
Electron Gun 270°(270°电子枪)
用途: 金属镀膜专用
型号: AN-9020
功率: 16 kW
电子束偏转角度: 270°
AN-9020 是一款专为金属镀膜工艺设计的 270° Electron Gun(270°电子枪)。
该电子枪采用 270° 结构设计,在镀膜过程中,即使有异物或颗粒落向 Filament(灯丝)区域,也能最大限度降低结构干涉,
同时减少对蒸发材料产生的热影响。
因此,AN-9020 能够实现高度稳定的电子束输出和高功率运行,可有效熔化 Powder(粉末)及各种蒸发材料。
AN-9020 适用于高精度及多层镀膜工艺,并可广泛应用于实验设备、真空镀膜设备、半导体设备及光学设备等领域。
AN-9020 采用单电子枪结构。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 ISA-7000 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)为单独销售产品,
可与 AN-9020 配套使用。

AN-9030
(韩国首创)
Electron Gun 270°(270°电子枪)
用途: 精密镀膜
特点:
改变加速电压时,可自动保持电子枪所发射电子束的位置稳定;
同时具有较长的 Filament(灯丝)使用寿命。
型号: AN-9030
功率: 10 kW
电子束偏转角度: 270°
AN-9030 是一款 270° Electron Gun(270°电子枪)。其结构设计能够在镀膜过程中,
即使有异物或颗粒落向 Filament(灯丝)区域,也尽可能减少结构干涉,同时降低对蒸发材料产生的热影响。
因此,AN-9030 能够实现高度稳定的电子束输出和高功率运行,可有效熔化 Powder(粉末)及各种蒸发材料。
AN-9030 适用于高精度及多层镀膜工艺,并可广泛应用于实验设备、真空镀膜设备、半导体设备及光学设备等领域。
AN-9030 采用单电子枪结构。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 ISA-7000 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)为单独销售产品,
可与 AN-9030 配套使用。

AN-9101
(韩国首创)
Electron Gun 90° / 180°(90° / 180°电子枪)
用途: 颗粒阻隔
型号: AN-9101
功率: 3 kW
电子束偏转角度: 90° / 180°
AN-9101 是一款 90° / 180° Electron Gun(电子枪)。
该电子枪可输出扁平型(Flat)电子束,因此能够有效应用于**颗粒阻隔(Particle Blocking)**等工艺。
AN-9101 采用单电子枪结构。
比威度斯(BIVIDUS)的 Crucible(坩埚)和 ISA-7000 Electron Gun Power Supply(电子枪电源)为单独销售产品,
可与 AN-9101 配套使用。

