ORIGIN的多层电子束镀膜产品

ORIGIN(奥力进) 的多层涂层系统是一种精密PVD光学多层膜真空镀膜设备. 

可以应用于各种生产现场和研究, 实验中, 例如薄膜沉积, 光学镜片生产, 滤光片生产, 前面板玻璃生产,

半导体生产, 新材料开发, 物质合成, 物质隔离, 离子清洗, 离子辅助沉积, 真空电子束焊接等多个领域.

利用最新技术进行设计, 确保高生产效率和产品质量提升.

构成为真空室, 真空泵, 冷却装置, 电气控制, 气压控制, 真空压力控制, 沉积膜厚度控制, 气体量控制,

E-Beam Source(电子枪, 电子枪电源, 坩埚和坩埚衬套), Ion-Beam Source (离子枪和离子枪电源).