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用途:Y₂O₃涂层陶瓷承载盘、OLED制造、光学滤光片生产、光学镜片多层镀膜、光学窗口多层镀膜
型号:OC-2500
电子束源(E-Beam Source):180°或270°电子枪
(3~16 kW)
离子束源(ION-Beam Source):4 kW
加速电压:3,000~15,000 VDC
产品旋转方式:公转、自转



韩国首创
项目规格
产品名称离子枪电源及离子枪
(Ion Gun Power Supply & Ion Gun)
用途 : 辅助镀膜、清洗、溅射
型号 : ISA-8000 / AN-9500
功率 : 4 kW
阳极电压 : 0~250 VDC
灯丝供电电流 : 50 A
Gun Type : End-hole

韩国首创
电子枪电源 (Electron Gun Power Supply)
用途:普通镀膜、精密镀膜
型号:ISA-7000
功率:10~20 kW
加速电压:3,000~15,000 VDC
电子束偏转角度:0°、90°、180°、270°
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